平行平晶
VS
平面平晶
項(xiàng)目 | 平行平晶 | 平面平晶 |
英文名稱(chēng) | Optical Parallels | Optical Flats |
日文表述 | オプチカルパラレル | オプチカルフラット |
產(chǎn)品 圖片 |
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精度 等級(jí) | 1級(jí)
| 2級(jí)
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檢測(cè) 項(xiàng)目 | 千分尺測(cè)量面的平行度和平面度 | 測(cè)量面的平面度 |
測(cè)量 方式 | 將平行平晶緊貼測(cè)砧的測(cè)量面,觀察在測(cè)力作用下測(cè)微螺桿方向產(chǎn)生的紅色干涉條紋數(shù)量 | 通過(guò)平面平晶的干涉條紋檢測(cè)平面度 |
測(cè)量 示例 |
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干涉條紋 檢測(cè)圖例 |
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干涉條紋 的說(shuō)明 | 上圖中為0.32μm×3=0.96μm,平行度約1μm | 左圖1為溝槽狀壓痕形成的干涉條紋,0.32μm×4=1.28μm,平面度約1.3μm, 右圖2為缽狀壓痕形成的干涉條紋,0.32μm×2=0.64μm,平面度約0.6μm |